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采购与招标网
2021年01月25日
| 招标编号：立即查看 | 开标时间：立即查看 |
| 招标人：立即查看 | 标讯类别：立即查看 |
| 资金来源：立即查看 | 招标代理：立即查看 |
| 晶圆级（略）射线衍射仪 | |
| 项目所在采购意向： | <（略）采购意向 |
| 采购单位： | 上海科技大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级（略）射线衍射仪 |
| 预算金额： | （略）.（略）(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 名称：晶圆级（略）射线衍射仪功能和目标：晶圆级（略）射线衍射仪可以测量大尺寸晶圆的晶格参数、应力和位错，以及识别多晶超薄薄膜中的相组成。这些信息对于调（略）材料的制备和制造工艺尤为关键。晶圆级（略）射线衍射仪可实现高通量、高效率的数据采集，是实现AI for Nanofab的重要一环，对于半导体器件制（略）工艺过程的参数控制，工艺流程的快速迭代具有重要意义。为满足AI for Nanofab and Materials的建设需求，拟采购的晶圆级（略）射线衍射仪需主要满足以下技术指标和性能：1.（略）射线发生器最大功率≥3kW，电压可变范围（略）kV~（略）kV，电流可变范围5~（略）mA2.测（略）仪半径≥（略）mm，最小可控步长≤0.（略）度3.样品台尺寸：可支持6英寸；5轴样品台，Z轴最大移动范围≥1mm，Phi： 0~（略）度，Chi：≥（略）度4.探测器空间（略）辨率≤（略）um，配置支持0维、1维、2维扫描，可支持快速倒易空间测试采购数量：1套 |
| 预计采购时间： | （略）-（略） |
| 备注： |
本（略）采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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