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中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目 咨询本项目

采购与招标网 发布时间:2026-04-10 地区:广东
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招标代理公司(立即注册查看) 受业主单位(立即注册查看) 委托,于2026-04-10在采购与招标网发布 中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目。现邀请全国供应商参与投标,有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。 |项目概况采购类型采购项目编号中大招(货)[(略)](略)号项目名称中山大学微电子科学与技术(略)设备采购项目申购(略)项目类型货物采购项目预算***最高限价(略),(略).(略)人民币(略)及响应开始时间(略)-(略)-(略):(略) (略)及响应结束时间(略)-(略)-(略):(略) 采购单位中山大学经办人王老师经办人电话(略)期望收货时间合同签订后(略)天内交货是否送货是送货地(略)中山大学(略)瀚林2号A(略)实验室电子签章本项目需要使用(略)签字 (略)操作手册(略)备注1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价。2、进口货物中如有国内供货部(略),供应商报价时应(略)别报价,境外供货部(略)、国内供货部(略)的币种选择见第1条,并(略)别签订进口货物采购合同和国内采购合同。3(略)不收取任何费用,外贸代理费由供应商(略)。4、本项目需要使用(略)证书,请供应商根据指引(http:(略).cnarticle(略))提前(略)证书。5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。6、如为进口免税报价,报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的,该产品的评审价=[供应商的免税报价×(1+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率)],如高于项目最高限价预算价,则报价无效。|采购明细1采购(略)数量1台参考品(略)”技术要求序号技术要求内容评(略)等级是否星号条款是否需要附件说明1抛光单(略)模块可用于4英寸及1cm*1cm可吸附方片夹具的硅基、玻璃基、化合物基晶圆及其表面薄膜层化学机械抛光。重要否否2抛光头为气囊式加压,控制精度不低于0.1psi;腔数量不少于5腔,保持环不少于1个,抛光腔不少于3个,真空吸附腔不少于1个,抛光头转速:5-(略)rpm,精度不低于±1rpm。重要否是3抛光盘的直径为(略)mm~(略)mm之间,抛光垫转速盖(略)-(略)rpm,精度不低于±1rpm。重要否否4活化单(略)和抛光头需为水平对称结构,设备需配备活化单(略)清洗模块,并预留盘温监控,自动冷却接口。重要否是5抛光液供应泵为蠕动泵(带搅拌功能)供液,供液范围:0-(略)mlmin。重要否否6(略)可实现用户(略)级控制,如操作员模式、维护模式和技术模式等,各种模(略)可对每个工艺步骤的工艺参数进行编辑,按程序对晶片表面薄膜进行平坦化抛光。具有紧急停止(略),用来立即停止设备动作并切断控制电源。非常重要否是7★工艺性能:对于4英寸氧化硅去除,使用原厂提供的抛光液能达到:抛光速率≥(略)nmmin;晶圆抛光片内均匀性≤5%(RR_NU%,去除量均匀性),去边5mm;晶圆抛光片间均匀性≤3%(RR_NU%,去除量均匀性),去边5mm;抛光后表面粗糙度(RA)≤1nm。(投标时提供同型号产品测试报告)。非常重要是是8需为落地式设备,设备尺寸长x宽x高(cm)不大于(略)cm*(略)cm*(略)cm。重要否否9▲包含但不限于:1个1cm*1cm可吸附方片夹具、1个抛光盘、1个修(略)臂、1个UPA(均匀压力施加)单(略)、1个抛光液供应泵、1个SlurryArm(抛光液喷淋臂),1(略)、(略)kg抛光液。非常重要否是|资质要求序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明1第1条资质参数符合性参数(略)营业执照副本原件扫描件是2第2条资质参数符合性参数填写并按要求(略)“廉洁承诺书”(需签字并盖公章)是3第3条资质参数符合性参数填写并要求(略)“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并(略))是4第4条资质参数符合性参数填写并按要求(略)“供应商资格声明”(需签字并盖公(略)要求序号要求名称要求内容是否需要附件说明1免费保修年限(略)年(略)年(略)年及以上是2合同履约该项目必(略)合同范本执行(略)地址:(略)ZSU(略)htmb.zip。注意:(1)合同模板中付款方式适用(略)期结算付款条款其它付款方式选项不得选用;(2)本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票,如无法开具,需在签署合同时提供合理说明,否则将可能会影响合同签署。否3产品(略)(要求(略)“制造厂商出具的授权函”)厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格式自拟)厂家(生产商)长期授权销售(授权书中连续有效期不少于一年)其他授权销售方式是4售后服务要求1.供应商须在发货前协助采购人用户完成安装条件的准备工作;2.收到采购人用户安装条件就绪的通知后,供应商方需(略)师在3天内到安装(略)进行设备的安装和调试;3.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障,供应商须在接到故障通知后即时响应,并在(略)小时内安排上门服务,如故障需要更换(略)配件,供应商须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好;4.每年至少提供一次上门检修服务;5.质量保证期内中标(成交)供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养,保修期后设备维修配件更换只收取成本费用。是5培训要求设备安装完成后,由专业(略)师进行产品使用的培训工作,培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容,直到至少2名操作人员能够熟练使用设备为止。是(略)
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